真空等離子處理儀屬于電子工業(yè)的干法清洗，在一定的真空條件下，對氣體施加能量使其成為等離子狀態(tài)，等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等，通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。通過使用等離子體處理樣品表面從而實現(xiàn)表面清潔，表面改性，表面刻蝕，表面接枝的目的，最后將污染物轉(zhuǎn)化為氣態(tài)，并通過真空泵用連續(xù)氣流將其排出。

原裝強效電源：采用原裝高壓激勵電源電路技術，產(chǎn)生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果。

全面安全防護：溫度安全防護功能，過載防護功能，短路斷路報警防護功能，各種誤操作保護功能。

獨有的放電技術：特殊處理及特殊結構的放電裝置，確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。

密封性優(yōu)良的真空腔體設計：高真空度真空腔體設計及制造工藝，配置強力真空泵。

優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品部件：產(chǎn)品全部部件采用國內(nèi)外優(yōu)質(zhì)部件，確保設備性能優(yōu)越。

超低清洗溫度：滿足不同場合溫度要求，不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響。

精密數(shù)控加工：進口精美CNC數(shù)控機床加工工藝，并配備進口三坐標測量儀進行質(zhì)量監(jiān)控。

適用于形狀復雜樣品：清洗各種復雜形狀的產(chǎn)品，包括內(nèi)孔內(nèi)壁，均勻清洗。

定制設計 ：可定制40Khz、13.56Mhz、2.45Ghz三種頻率，電極數(shù)量可定制，腔體尺寸可定制。

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